应用领域

• 半导体生产：

  • 离子注入：

    同时具有高控制动态性和高稳定性的中高压电源。30 kV-150 kV，700瓦-20千瓦

  • 粘接：

    适用于低功率的高压电源以及特定的控制和输出电路。盒式电源最高2 kV，最高1 mA。

  • LCD测试仪：

    我们经常在工业应用中对高压稳定性有极高的要求。在制造过程中，此类电子显微镜是测试LCD屏幕所必需的。10 kV-20 kV，低电流，高精度，带辅助电压。

  • 电子束固化/交联/灭菌：

    具有多通道输出的高压电源，用于产生高功率的电子束。50 kV-180 kV，3 kW-60 kW，带辅助电源。

  • 光刻/显微镜：

    纳米范围内的最小结构形成在半导体或其他基板上。要求类似于电子显微镜，但对于光刻，电子束电流的调节必须覆盖较大的功率范围。20 kV-70 kV，低电流（mA），辅助电源，非常高的稳定性，低纹波。

  • 功率半导体：

    通常必须对组件进行介电强度，电流路由和开关行为测试。范围800V-20,000V，最高10kW，高/高电流脉冲最高3000A。大电流脉冲发生器，最大输出电流为3000A。

  • 冷凝器测试仪/成型系统：

    必须测试电容器的介电强度，并在制造过程中或以后使用时形成电容器。范围800V-20,000V，最高10kW。

  • 压敏电阻测试仪：

    通常必须对组件进行介电强度测试。800 V-20,000 V，7 W-500 W.